Brève description de la préparation des cibles de niobium

Brève description de la préparation des cibles de niobium

Les cibles de pulvérisation en alliage de molybdène (10 %) et de niobium offrent de larges perspectives d'application dans les cellules solaires et les écrans à couches minces. Cependant, en raison de l'absorption d'oxygène par la poudre de niobium pendant le frittage, les ébauches de molybdène-niobium frittées ont une teneur élevée en oxygène et une faible densité. Cette étude a préparé de la poudre de niobium recouverte de carbone de niobium (NbC) via une réaction chimique en vapeur dans une atmosphère de CH4.

La couche NbC empêche non seulement l’absorption de l’oxygène, mais réagit également avec lui pour consommer complètement l’oxygène à la température souhaitée. Les effets de la méthode de préparation, du milieu réactionnel et des paramètres de réaction sur les propriétés de la couche de NbC ont été étudiés et les conditions optimales du processus ont été déterminées : température de 600 degrés, temps de réaction de 270 minutes et pression de 0,04 MPa.

La morphologie de la surface, la composition chimique, la distribution et l'uniformité du revêtement ont été caractérisées par microscopie électronique à balayage, spectroscopie photoélectronique à rayons X-, microscopie à sonde électronique, spectroscopie Raman et microscopie à force atomique. Les teneurs en oxygène et en carbone ont été déterminées à l'aide d'analyseurs ONH et CS. La poudre de niobium modifié en surface-a été mélangée à de la poudre de molybdène et frittée sous vide pour produire un lingot de Mo-10 % de Nb avec une teneur en oxygène de 190 ppm, une teneur en carbone de 290 ppm et une densité relative de 93 %. La qualité de ce lingot était nettement supérieure à celle des lingots préparés à partir de poudre de niobium non modifiée.