Application des cibles de tantale dans le champ semi-conducteur
Dans l'industrie des semi-conducteurs, le tantalum métallique (TA) est actuellement principalement utilisé comme matériau cible pour former une couche barrière par dépôt de vapeur physique (PVD). Avec le développement de la technologie des semi-conducteurs, la technologie de fabrication de circuits intégrée à très grande échelle est devenue le premier plan.Cibles de tantalePeut être utilisé pour préparer des graines de semi-conducteur et d'autres matériaux semi-conducteurs.
Zhenan Tantalum Target Détails du produit Détails du paramètre Affichage
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Grade |
3n, 3n5, 4n, avec TA 99,99% min |
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Taille des grains |
ASTM 4 ou plus fin |
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Finition de surface |
16rms max. ou ra 0. 4 (rms64 ou mieux) |
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Platitude |
{{0}}. 1 mm ou 0,15% max |
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Tolérance |
+ / -0. 010 "sur toutes les dimensions |
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Zhenan Tantalum Target Product Détails Affichage de l'image


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