Industrie des semi-conducteurs
Utiliser:Cibles de niobiumsont utilisés comme matériaux de barrière (tels que la structure Cu / Nb / Si) pour empêcher la diffusion du cuivre ou comme électrodes de condensateur.
Avantages: Faites correspondre le coefficient d'extension thermique du substrat de silicium pour éviter les fissures du film causées par la contrainte thermique.
Matériaux supraconducteurs
Utilisation: Les cibles de niobium sont utilisées pour préparer les cavités radiofréquences supraconductrices (SRF) pour les accélérateurs de particules (comme l'Organisation européenne pour la recherche nucléaire LHC).
Exigences de performance: la pureté cible de niobium doit être supérieure ou égale à 5n, et la densité des défauts des limites des grains doit être<10⁶ cm⁻².
Affichage d'image des détails du produit cible de Niobium de haute pureté
