Méthode de métallurgie de la poudre: La poudre de molybdène de haute pureté (taille moyenne des particules 5-10 μm) est utilisée comme matière première, la poudre de molybdène est pressée dans la forme souhaitée, puis fritté à haute température pour la rendre dense. Cette méthode convient pour préparer des cibles avec des formes complexes et la densité des obtenuscible molybdènepeut atteindre plus de 99% de la valeur théorique.
Méthode de fusion: Les matières premières de molybdène de haute pureté sont fondues à l'aide du four de fusion à induction sous vide (VIM) et d'autres équipements pour obtenir des lingots de molybdène avec une bonne uniformité des grains, tels que les lingots de molybdène avec un diamètre de φ300 mm, dont l'uniformité des grains peut être améliorée de 30%.
Usinage: Usinage de précision tel que la coupe, le polissage et la formation de blancs de cible de molybdène fritté ou fusionné pour atteindre des spécifications précises et des exigences de qualité de surface, telles que la planéité inférieure ou égale à {{0}}.
Traitement de surface: le polissage électrolytique et d'autres processus sont généralement utilisés pour traiter la surface du matériau cible de molybdène pour rendre la rugosité de surface RA inférieure ou égale à 0. 2 μm pour répondre aux exigences du revêtement de pulvérisation de haute précision.
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