Cible de tantaleLe matériau est un matériau composé de métal de tantale de haute pureté ou d'alliage de tantale, qui est principalement utilisé dans divers processus de dépôt de couches minces.
Le matériau cible en tantale est connu pour son excellente résistance à la corrosion, son point de fusion élevé et sa biocompatibilité. Ses propriétés physiques comprennent un point de fusion élevé (environ 3017 degrés), un point d'ébullition élevé, une densité élevée et une dureté élevée, ce qui confère au matériau cible au tantale des avantages uniques dans la formation de films minces de haute qualité.
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