Quelles précautions doivent être prises lors de l'installation de la cible, comme expliqué par ZhenAn ?
La précaution la plus importante lors de l'installation de la cible est d'assurer une bonne connexion thermique entre la cible et la douve de refroidissement du pistolet de pulvérisation.
Une déformation importante de la douve de refroidissement ou de la plaque d'appui peut provoquer la fissuration ou la flexion de la cible lors de l'installation. Cela peut affecter considérablement la conductivité thermique de la plaque de support à la cible, empêchant la dissipation de la chaleur pendant la pulvérisation cathodique et provoquant finalement la fissuration ou le déraillement de la cible.
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Pour garantir une conductivité thermique adéquate, une couche de papier graphite peut être placée entre la douve de refroidissement de la cathode et la cible. Inspectez et vérifiez soigneusement la planéité de la douve de refroidissement du pistolet de pulvérisation et assurez-vous que la bague d'étanchéité est toujours en place.
En raison de la propreté de l'eau de refroidissement utilisée et de la saleté qui peut être générée pendant le fonctionnement de l'équipement, qui sera déposée dans le réservoir d'eau de refroidissement cathodique, le réservoir d'eau de refroidissement cathodique doit être inspecté et nettoyé lors de l'installation du matériau cible pour assurer une circulation fluide de l'eau de refroidissement et que l'entrée et la sortie ne soient pas bloquées.
Certaines conceptions de cathode ont un petit espace avec l'anode, donc lors de l'installation du matériau cible, il est nécessaire de s'assurer qu'il n'y a aucun contact entre la cathode et l'anode ni aucun conducteur, sinon un court-circuit se produira.
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