ZhenAn, quelles sont les méthodes de base couramment utilisées pour tester les grains des matériaux cibles ?

ZhenAn, quelles sont les méthodes de base couramment utilisées pour tester les grains des matériaux cibles ?

Les matériaux cibles sont généralement polycristallins, avec des tailles de grains allant du micron au millimètre. Plus les grains sont fins, plus la zone limite des grains est grande et plus l’impact sur les performances est important. Pour un même matériau cible, les cibles à grains fins ont une vitesse de pulvérisation plus rapide que les cibles à grains grossiers. Les cibles avec des variations de taille de grain plus petites (distribution uniforme) produisent des distributions d'épaisseur plus uniformes dans les films pulvérisés. Des recherches ont montré que si la taille des grains d'une cible en titane est contrôlée en dessous de 100 μm et que la variation de la taille des grains est maintenue à moins de 20 %, la qualité du film pulvérisé résultant peut être améliorée. Amélioration significative.

Trois méthodes de base pour tester la granulométrie cible
1. Méthode de comparaison : La méthode de comparaison ne nécessite pas de compter les grains ou les interceptions. Lors d'une comparaison avec une série standard de tableaux de notation, l'évaluation de la taille des grains à l'aide de la méthode de comparaison présente généralement un certain degré d'écart (± 0,5 niveaux). La reproductibilité et la reproductibilité des valeurs évaluées sont généralement de niveau ±1.

2. Méthode superficielle : La méthode superficielle compte le nombre de grains dans une superficie connue et utilise le nombre de grains par unité de surface pour déterminer la granulométrie. La précision de cette méthode dépend de la taille des grains calculée et, avec un comptage approprié, une précision de ± 0,25 niveaux peut être obtenue. Les résultats de la méthode des aires sont impartiaux, avec une reproductibilité inférieure à ±0,5 niveaux. La clé pour déterminer la taille des grains à l’aide de la méthode des aires réside dans le comptage des grains qui délimitent clairement les limites des grains.

3. Méthode d'intersection : le nombre d'intersections est calculé en comptant le nombre d'intersections où un segment de ligne de test (ou une grille) de longueur connue coupe les joints de grains. La granulométrie est déterminée à l’aide du nombre d’intersections par unité de longueur. La précision de la méthode d'interception dépend du nombre d'interceptions ou d'interceptions calculées et peut être obtenue grâce à une analyse statistique efficace. Précision du niveau ±0,25. Les résultats de mesure de la méthode d'interception sont exempts de biais- et la reproductibilité et la reproductibilité sont inférieures au niveau de ± 0,5. Pour le même niveau de précision, la méthode d’interception ne nécessite pas de marquage précis des points d’interception ou des numéros d’interception, elle est donc plus rapide que la méthode par zone.