Introduction de base et classification des cibles de niobium
Cibles de niobiumsont des cibles avec du niobium métal comme composant principal, et sont principalement utilisés dans diverses applications cibles, telles que la gravure du faisceau d'ions, le dépôt de pulvérisation, l'implantation d'ions, etc.
Selon la composition, ils peuvent être divisés en cibles de niobium pures, des cibles en alliage de niobium et des cibles composites.
Les cibles de niobium pures sont principalement faites de niobium métal et conviennent aux applications avec des exigences élevées pour la pureté cible; Les cibles d'alliage de niobium améliorent la résistance à la corrosion et la résistance aux chocs thermiques en ajoutant d'autres éléments métalliques tels que le tantale et le molybdène; Les cibles composites sont réalisées en combinant du niobium métal avec d'autres matériaux tels que la céramique et le verre pour obtenir de meilleures performances complètes.
Niobium Target Product Détails Tableau des paramètres
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Composition chimique
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Matériaux niobium
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Pureté 99,95%
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Éléments
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Spécifications réelles
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Unités
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Éléments
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Spécifications réelles
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Unités
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Si
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<5
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ppm
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Faire
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42
|
ppm
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Ti
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<5
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ppm
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W
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20
|
ppm
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Croisement
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<10
|
ppm
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Fe
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10
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ppm
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C
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29
|
ppm
|
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Ni
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<10
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ppm
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O
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100
|
ppm
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Zr
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<10
|
ppm
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N
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10
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ppm
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MO
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<10
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ppm
|
H
|
10
|
ppm
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Niobium Target Product Détails Affichage de l'image


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