Méthodes détaillées de préparation des cibles en tungstène
1. Métallurgie des poudres Il s'agit de la méthode la plus traditionnelle et la plus couramment utilisée pour préparer des cibles en tungstène. La poudre de tungstène est d'abord pressée puis frittée à haute température dans une atmosphère d'hydrogène. Ce processus peut produire des cibles en tungstène de haute pureté et de haute densité, mais ses produits nécessitent souvent un traitement ultérieur pour répondre à des exigences spécifiques en matière de taille et de forme.
2. Préparation de la cible de pulvérisation La pulvérisation est une méthode qui utilise le bombardement ionique sous vide pour déposer un matériau de tungstène sur un substrat afin de former un film mince. Cette méthode est particulièrement efficace pour préparer des cibles en couches minces de tungstène de haute pureté et à structure fine. Convient aux applications nécessitant des surfaces très plates et uniformes, telles que la fabrication de semi-conducteurs.
3. Technologie de pressage isostatique à chaud La technologie de pressage isostatique à chaud (HIP) densifie les matériaux en tungstène en appliquant simultanément une température et une pression élevées. Cette méthode peut éliminer les pores et les défauts pouvant être générés lors de la métallurgie des poudres, produisant ainsi des cibles en tungstène présentant une densité plus élevée et une meilleure uniformité.
4. Méthode de fusion Le tungstène est complètement fondu à haute température puis transformé en cible par coulée ou par d'autres procédés de moulage. Bien que cette méthode puisse produire des cibles de tungstène plus grandes, il est difficile de contrôler leur pureté et leur microstructure.
5. Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) Le CVD est une méthode de décomposition d'un précurseur gazeux à haute température pour déposer du tungstène sur un substrat. Cette technologie est principalement utilisée pour préparer des matériaux en couches minces présentant des microstructures spécifiques et des exigences de pureté élevées.
Paramètres de base de la cible de tungstène
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Numéro de modèle
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cible de pulvérisation de tungstène
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Forme
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personnalisé
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Composition chimique
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Application
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Industrie
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Matériel
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Tungstène
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Nom du produit
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cible de pulvérisation de tungstène et d'alliage de tungstène de haute pureté
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Affichage de l'image de la cible en tungstène
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