Définition et introduction du produit cible de zirconium cible et application
Définition et application:
Cible de zirconiumest fabriqué par un processus de préparation spécifique et est utilisé pour la pulvérisation de dépôt en couches minces de zirconium.
Il est principalement utilisé dans le processus de dépôt de pulvérisation dans l'industrie de l'électronique, tels que la préparation des électrodes de porte et des couches d'interconnexion métallique dans les dispositifs MOSFET, ainsi que dans les cathodes et les revêtements optiques pour les évaporateurs de faisceau d'électrons dans le champ Optoélectronique.
Tableau de paramètres de composition du produit cible de zirconium
| Poids moléculaire | 91.22 |
|---|---|
| Apparence | Métal gris |
| Point de fusion | 1852 degré |
| Point d'ébullition | 3580 degrés |
| Densité | 6506 kg / m3 |
| Solubilité dans H2O | N/A |
| Le rapport de Poisson | 0.34 |
| Module de Young | 88 GPA |
Images de produits cibles de zirconium
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