Introduction aux caractéristiques du produit des cibles de zirconium
Caractéristiquescibles de zirconium:
Composition chimique: en zirconium pur (ZR) ou en alliages de zirconium (tels que l'alliage de zirconium-hafnium Zr-HF).
Forme structurelle: les formes courantes comprennent des cibles rondes et des cibles rectangulaires.
Précision dimensionnelle et qualité de surface: une précision dimensionnelle élevée et une finition de surface sont nécessaires. La surface doit être lisse, sans fissure, sans pores et impuretés évidents.
Densité: une densité élevée est nécessaire pour assurer la stabilité et la qualité du film lors de la pulvérisation.
Tableau de paramètres de composition du produit cible de zirconium
| B | 0.07 | Ti | 36 | MO | 3.7 |
|---|---|---|---|---|---|
| F | 1.7 | V | 0.13 | Rh | <0.5 |
| N / A | 0.3 | Croisement | 3.4 | PD | <5 |
| Mg | 0.09 | MN | 0.2 | Dans | <0.05 |
| Al | 48 | Fe | 51 | Sn | 16 |
| Si | 35 | Co | 0.032 | Sb | <0.5 |
| P | 0.35 | Ni | 3.3 | Te | <0.5 |
| S | 16 | Cu | 0.16 | I | <0.5 |
| CL | 1.6 | Zn | 0.28 | La | <0.013 |
| K | 0.25 | BR | 0.039 | CE | 0.021 |
| Californie | 0.33 | SR | 0.009 | RP | 0.036 |
| SC | 0.6 | NB | 1.7 | Nd | <0.05 |
| Géorgie | 0.1 | Ge | <0.05 | Sm | <0.05 |
| Comme | <0.05 | SE | <0.05 | Faire | 0.66 |
| W | 1.3 | Concernant | <0.05 | OS | <0.05 |
| IR | <0.05 | Pt | <0.05 | Au | <0.05 |
| PB | 0.96 | Bi | 0.28 | U | 1.1 |
Affichage de l'image des détails du produit cible de zirconium cible


Contrôle de la qualité des produits Zhenan
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