Introduction à la cible en zirconium
La cible en zirconium fait référence à la cible métallique en zirconium utilisée dans la pulvérisation magnétron. Elle joue un rôle important dans la préparation de films minces de haute technologie en raison de ses excellentes propriétés physiques et chimiques, telles qu'un point de fusion élevé, une bonne résistance à la corrosion et une faible section efficace d'absorption des neutrons. L'application de la cible en zirconium dans la pulvérisation magnétron peut préparer des films minces en zirconium de haute qualité, qui sont largement utilisés dans la microélectronique, l'optique, l'optoélectronique et d'autres domaines.
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Paramètres mécaniques de la cible en zirconium
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Standard |
Matériel |
État |
Rm(Supérieur ou égal à)/MPa |
Rp0.2(Pennsylvanie |
A50 mm(Supérieur ou égal à)/% |
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ASTM B550 |
R60702 |
recuit |
379 |
207 |
16 |
Environnement de l'entreprise et visites clients


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